工業(yè)廢氣處理中監(jiān)測與分析技術(shù)主要包括以下幾種：

1、氣體濃度監(jiān)測技術(shù)：通過安裝氣體濃度傳感器等設(shè)備，對工業(yè)廢氣中的有害物質(zhì)濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測，以便及時(shí)采取控制和治理措施。

2、氣質(zhì)聯(lián)用技術(shù)：將氣體色譜儀和氣質(zhì)聯(lián)用儀等設(shè)備組合使用，可以對廢氣中的各種有害物質(zhì)進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的定性和定量分析。

3、大數(shù)據(jù)分析技術(shù)：通過對工業(yè)廢氣處理過程中的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，可以優(yōu)化廢氣處理工藝和控制策略，提高廢氣處理效率和質(zhì)量。

4、人工智能技術(shù)：利用人工智能技術(shù)，可以對工業(yè)廢氣處理過程進(jìn)行預(yù)測和優(yōu)化，以提高廢氣處理的精度和效率。

5、光學(xué)檢測技術(shù)：利用激光光譜儀、紅外光譜儀等設(shè)備，對工業(yè)廢氣中的有害物質(zhì)進(jìn)行非破壞性檢測和分析，可以提高廢氣處理的質(zhì)量和效率。

總之，工業(yè)廢氣處理中監(jiān)測與分析技術(shù)是確保廢氣處理效果和環(huán)保排放的重要手段，需要根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的技術(shù)和設(shè)備進(jìn)行應(yīng)用。